簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "sputter".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氧化亞銅"


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    氧化亞銅單晶及薄膜之電傳輸與光電導特性研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳韋任 指導教授: 郭中豐 陳瑞山
    • 本研究利用不同參數之反向式濺鍍蝕刻法(inverse sputter etching technique)轟擊半導體材料表面以去除潛在的表面汙染物,如天然氧 化物與碳氫化合物,使其半導體-金屬接面之…
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    反應式離子束濺鍍法沉積之氧化銅/氧化亞銅薄膜特性分析
    • 電子工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 林勇辰 指導教授: 黃鶯聲 趙良君
    • 此研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2/Si基版及石英基板上沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜,探討氬/氧流量及基板溫度對所沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜之影響。研究結果顯示在300℃或400℃所沉積之氧化銅/氧化亞…
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    • 全文公開日期 2018/06/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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